※ 設備規格:
- 板件尺寸:A. 24” * 24” (max.); 18” * 16” (min.)
B. 28” * 24” (max.); 22” * 16” (min.) (選擇)
C. 32” * 24” (max.); 26” * 16” (min.) (選擇)
- 板件厚度:0.134 ~ 2.0mm
- 線 速 度:0.2 ~ 0.8M/min(可調)
- 電鍍視窗:610 (710/810) * 5280mm/Chamber X雙列
- 電流密度:30 ASF (max.)
- 陽極型式:鈦籃式可溶性磷銅球或不溶解性氧化銥陽極
- 陰極型式:單飛靶雙軌式挾持